X轴和Z轴均采用超精加工及经过表面硬质阳极化处理的航空铝合金
Y轴采用一体化槽型精密花岗石导轨
Z轴采用可调式气动平衡设计,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题,提高了测量机的精度和长期稳定性
各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,确保运动的平稳和准确定位
三轴均采用预载荷空气轴承,运动更平稳,导轨永不受磨损
三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺,系统分辨率可达0.078um;同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光栅尺的变形,保证在温度变化时的线性伸缩
采用海克斯康为Function Plus专业打造的IDC-II控制系统,21项误差空间修正技术和自动调谐功能,保证了大型机器的动态性能和测量精度
测量机三轴都配置温度传感器,实时监控温度变化,自动补偿由于温度变化而引起的误差
软件的PC-DMIS BASIC (/PC-DMIS PREMIUM),功能强大,易学高效
规格型号与技术指标: 规格型号与技术指标:
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Croma454
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Croma10128
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Croma10158
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Croma10218
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行程大小mm |
X
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440
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1000
|
1000
|
1000
|
Y
|
490
|
1200
|
1500
|
2100
|
|
Z
|
390
|
800
|
800
|
800
|
|
外形尺寸mm |
Lx
|
559
|
1600
|
1600
|
1600
|
Ly
|
750
|
2177
|
2477
|
3077
|
|
Lz
|
483
|
2837
|
2837
|
2837
|
|
测量空间mm |
Dx
|
1162
|
1130
|
1130
|
1130
|
Dz
|
1032
|
118
|
118
|
118
|
|
Dz1
|
2318
|
940
|
940
|
940
|
|
平台mm |
Ph
|
|
580
|
590
|
590
|
Py
|
|
1910
|
2210
|
2810
|
|
支撑mm |
Sy
|
|
1000
|
1200
|
1450
|
Sy1
|
|
455
|
505
|
680
|
|
承重kg
|
|
227
|
1300
|
1500
|
1800
|
机器重量kg
|
|
345
|
1785
|
2090
|
2625
|
MPEe(um)
|
|
2.8+L/300
|
3.2+L/300
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||
MPEp(um)
|
|
3.5
|
3.5
|
||
光栅尺分辨率um
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|
0.078
|
0.078
|
||
空间移动速度m m/s
|
|
520
|
520
|
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空间移动加速度m m/s
|
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1730
|
1470
|
||
流量/供气压力
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120N1/min 0.45Mpa
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2.5dm3/s(180N1/min) >0.7Mpa
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温度
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20±2℃
|
20±2℃
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||
湿度
|
|
45%-75%
|
45%-75%
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